|
|
PI 普愛納米位移技術
六軸并聯定位臺,納米/微米定位臺,壓電陶瓷/壓電促動器,壓電偏擺鏡,壓電控制器,直線電機/直線促動器,電容位置傳感器
六軸并聯定位臺
六自由度高精度并聯運動
無軸間運動串擾和誤差累計
低運動慣量,高結構剛度
可自由設定旋轉中心
特殊設計可承受1000公斤以上負載 |
|
納米定位臺
從1軸到6軸運動
并聯運動和并聯測量技術
保持記錄的高絕對精度與重復精度
可選電容傳感器高可達0.02nm閉環分辨率
定制型號可選擇銦鋼、鈦等不同材料 |
|
微米定位臺
從1軸到6軸的直線與旋轉運動
直線電機/陶瓷電機/步進/直流伺服
獨有的大行程納米定位技術
力矩電機+氣浮軸承超高精度轉臺
直線臺/升降臺/旋轉臺/搖擺臺/多軸臺 |
|
壓電陶瓷/壓電促動器
壓電陶瓷技術,高可靠性,長壽命
亞納米級位移分辨率,微秒級響應時間
輸出力高可達50000N
無機械空回,無靜摩擦和滑動摩擦
不受磁場干擾,提供真空、低溫兼容產品 |
|
壓電偏擺鏡
1維至2維超快可控偏擺運動
光學偏擺范圍大可達120mrad
超快響應時間,超高角度定位精度
大量用于光學追蹤、掃描、穩像等應用
可根據用戶的不同需求進行定制 |
|
直線電機/直線促動器
壓電陶瓷電機/直線電機/步進/直流伺服
PiezoWalk技術提供毫米級運動行程和亞納米級分辨率,大推力,可自鎖
PiezoWalk系列超小尺寸高速運動
可根據不同推力、行程、速度和精度要求進行定制 |
|
壓電控制器
單系統1軸到6軸,以及多軸串接
模擬和數字多種內部結構可選
RS232,USB,TCP/IP等多種計算機接口
先進的低噪聲驅動和高級控制算法
提供控制界面和二次開發包,支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 |
|
微米定位系統控制器
單通道及多通道系統
微步控制/混合控制/實時差補/并行控制
RS232,USB,TCP/IP,CAN等多種接口
多通道系統多種控制網絡方式可選
提供控制界面和二次開發包,支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 |
|
電容位置傳感器
位置、運動、振動的非接觸測量
量程從10微米到1000微米
皮米級位移分辨率,10KHz的帶寬
耐高溫,長時間穩定性(<0.1nm/3h)
無磁及真空環境兼容 |
|
|