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光纖光譜儀,等離子體監(jiān)控系統(tǒng)
光纖光譜儀,積分球,均勻光源,太赫茲系統(tǒng)應用專家
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PlasCalc系列等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

可在僅3ms內測量200～1100nm波長范圍內的等離子體的發(fā)射。PlasCals測量系統(tǒng)為數(shù)據(jù)的獲取提供過程控制和精密的數(shù)據(jù)運算。

  • 1.0nm(FWHM)光學解析度
  • 200～1100nm波長范圍
  • 快速建立和保存實驗方法

查看通用的等離子體測量系統(tǒng)USB4000光譜儀

編輯工具

編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數(shù)復雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設置：例如測量薄膜沉積情況、監(jiān)測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測反常的污染和排放現(xiàn)象等。

用于簡單的等離子體診斷的多重工具

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數(shù)學和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數(shù)據(jù)庫，可以另外單獨購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個窗口，可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。

SPECIFICATIONS

Spectral range:

200-1100 nm

Optical resolution:

1.0 nm (FWHM)

D/A converter:

14 bit

Digital Input/Output:

8 x TTL

Analog Output:

4 x [0-10V]

Interface:

USB 1.1

Power consumption:

12 VDC @ 1.25 A

Power requirements:

90-240 VAC 50/60 Hz

Dimensions:

257 mm x 152 mm x 263 mm

Weight:

5 kg

 
玻色智能科技有限公司光譜儀專家
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